液体吸取装置
基本信息
申请号 | CN202022052280.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214004858U | 公开(公告)日 | 2021-08-20 |
申请公布号 | CN214004858U | 申请公布日 | 2021-08-20 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 汪佳 | 申请(专利权)人 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 欧阳高凤 |
地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种液体吸取装置,液体吸取装置用于吸取长晶炉内的液体,长晶炉包括炉体,液体吸取装置包括储存容器、抽吸管和抽吸组件,储存容器内限定出储存空间,且储存容器上形成有液体进口和通气口,液体进口和通气口分别与储存空间连通,抽吸管设在储存容器上且抽吸管内限定出抽吸通道,抽吸通道与液体进口连通,抽吸管适于伸入炉体内,抽吸组件与通气口连通以减小储存空间内的压力。根据本实用新型的液体吸取装置,结构简单,可以及时移除长晶炉内污染的液体,保证生产持续进行。 |
