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单晶炉的炉内清洁装置

基本信息

申请号 CN201920567197.5 申请日 -
公开（公告）号 CN210146609U 公开（公告）日 2020-03-17
申请公布号 CN210146609U 申请公布日 2020-03-17
分类号 B08B9/08;C30B35/00 分类 清洁;
发明人 魏海宁;孔祥传 申请（专利权）人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
代理机构 北京淮海知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
地址 221000 江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种单晶炉的炉内清洁装置，包括低速电机，所述低速电机的输出轴通过连接块连接有丝杠螺母，丝杠螺母转动连接有丝杠，丝杠的下端固定连接有转筒，转筒的下端面设置有连接轴，连接轴的下端外侧面左右两端对称设置有第一伸缩杆和第二伸缩杆，第一伸缩杆的左侧面通过第一固定块固定连接有清洗部，第二伸缩杆的右侧面通过第二固定块固定连接有吸尘部，本实用新型在清洗部中采用可更换的除尘布的方式，有效避免产生二次性的碎屑，通过可伸缩的装置，清洗部和除尘部可以适用于不同的型号的单晶炉，通过低速电机的转动实现全方位的清洁，减少劳动力的劳动强度，提高工作效率。