首页/ 普赛微科技（杭州）有限公司/ 专利详情

一种多变量工艺过程控制的方法

基本信息

申请号 CN202110366997.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113341888A 公开（公告）日 2021-09-03
申请公布号 CN113341888A 申请公布日 2021-09-03
分类号 G05B19/418（2006.01）I 分类 控制；调节;
发明人 蒋信;刘瑞盛;喻涛 申请（专利权）人 普赛微科技（杭州）有限公司
代理机构 广州市越秀区哲力专利商标事务所（普通合伙） 代理人 孙柳
地址 310000浙江省杭州市临安区青山湖街道大园路1188号2幢3层3034A室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种多变量工艺过程控制的方法，包括获取对待监控工艺过程进行监控得到的工艺过程监控数据，将关键变量信息以及工艺过程名称输入至异常判断机器学习模型中进行异常判断，并输出判断结果，若异常判断机器学习模型输出的判断结果为工艺过程正常，则进入下一生产环节对应的工艺过程，若异常判断机器学习模型输出的判断结果为工艺过程异常，则根据工艺异常处理规则进入工艺异常处理流程。本发明的一种多变量工艺过程控制的方法，保证了有效监控工艺过程的质量和稳定性，可以及时发现工艺过程的异常，提高了工艺生产过程的生产效率以及降低了工艺生产过程对应产品的不合格率。