一种石墨舟降温方法
基本信息
| 申请号 | CN202011579772.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112993082A | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN112993082A | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/205 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 周其斌;张政;蔡成;唐福云;杨灼坚;沙泉 | 申请（专利权）人 | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 224000 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种石墨舟降温方法，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度。使用该方法可以有效的降低石墨舟温度，极大的节约降温过程的时间，从而提升电池硅片生产效率，提高了硅片良率。 |
