一种氧化硅钝化PERC双面电池及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011628235.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112768534A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112768534A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/042(2014.01)I;H01L31/0216(2014.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 刘银生;乐雄英;陆祥 | 申请（专利权）人 | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王巍巍 |
| 地址 | 224005江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种氧化硅钝化PERC双面电池及其制备方法。包括硅衬底、设置在硅衬底正面的正面介电层、依次设置在背面的第一介电层和第二介电层；正面介电层包括二氧化硅层和氮化硅层；第一介电层为氧化硅层或氮氧化硅层；第二介电层包括至少一层氮化硅层；第一介电层厚10‑100nm；第二介电层厚60‑180nm。制备：S1硅衬底表面预清洗及制绒；S2磷扩散制备P‑N结；S3硅衬底边缘刻蚀及背面抛光；S4正面介电层中二氧化硅层制备；S5正面介电层中氮化硅层制备；S6背面第一介电层制备；S7背面第二介电层制备；S8背面激光开槽；S9电极制备。本发明的氧化硅钝化PERC双面电池，取代了常规的氧化铝钝化PERC电池，在保证效率的同时可有效降低产品的制造成本，极大实现了电池端降本。 |
