一种石墨舟饱和工艺
基本信息
| 申请号 | CN202110320556.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113136558A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113136558A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | C23C16/02;C23C16/34;C23C16/505;H01L21/673;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邢显邦;李海波 | 申请（专利权）人 | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王巍巍 |
| 地址 | 224005 江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种石墨舟饱和工艺：(1)用氢氟酸去除石墨舟表面氮化硅；(2)用纯水漂洗石墨舟；(3)使用热水对石墨舟表面进行预脱水；(4)在烘干槽内先通入低温气流对石墨舟预烘干，再通入高温气流彻底烘干；(5)将炉管升温预热，用CDA对饱和炉管吹扫，将待饱和的石墨舟置于炉管内，关闭炉门；(6)炉管继续升温，并通入氮气；(7)将炉管抽真空，测试炉管漏率，测漏后再抽真空；(8)通入氨气，开放射频功率，对石墨舟第一次预处理；(9)通入氨气和硅烷，打开射频电源，使用PECVD对所述石墨舟表面进行饱和处理；(10)通入氨气，打开射频电源，对石墨舟后处理；(11)抽真空，通入氮气将炉管恢复到常压；(12)取出饱和好的石墨舟。 |
