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一种微波等离子清洗机用的波导矩阵

基本信息

申请号 CN202120901692.2 申请日 -
公开（公告）号 CN214624967U 公开（公告）日 2021-11-05
申请公布号 CN214624967U 申请公布日 2021-11-05
分类号 H01J37/32（2006.01）I;H01J37/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 田鹏康 申请（专利权）人 中科光智（西安）科技有限公司
代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 代理人 王小燕
地址 710065陕西省西安市高新区锦业路69号创业研发园C区22号2-1室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型适用于微波等离子清洗机技术领域，提供了一种微波等离子清洗机用的波导矩阵，包括真空腔体、第一风罩和第二风罩，所述第一风罩的数量为若干个并设置在真空腔体的上方，所述第二风罩的数量为若干个并设置在真空腔体的正面；本实用新型能够将单管微波源相互组合，并弥补单管磁控管功率的不足，同时提高了超大型腔体内的功率密度，解决了目前由于单磁控管微波功率有限，且定制超大功率磁控管价格昂贵，从而限制了超大腔体微波等离子清洗机应用的问题，同时解决了由于超大型微波等离子清洗机存在有腔体内微波场分布不均和功率密度不足的缺陷，进而限制了微波等离子清洗机腔体尺寸的问题。