一种电子半导体加工用清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202011525945.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112893302A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112893302A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | B08B3/12;B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 黄晓波 | 申请（专利权）人 | 江西龙芯微科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 337016 江西省萍乡市湘东区下埠产业园西扩区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种电子半导体加工用清洗装置，包括兆声波清洗壳体，兆声波清洗壳体的底部设有周期性振动的弹性振动板；弹性振动板活动盖设于兆声波清洗壳体的底部；兆声波清洗壳体的外侧设有兆声波共振腔换能器；还包括清洗液存储装置，电磁脉冲振动器，清洗管路组件，驱动部件，振动组件，对弹性振动板产生周期性振动；并配合电磁脉冲振动器、兆声波共振腔换能器实现对电子半导体高效率清洗；使得半导体材料冲洗的更加干净，清洗更加更加彻底，提高清洗效率和效果。 |
