一种用于微电子半导体的电阻检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202011593162.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112763762A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112763762A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | G01R1/04(2006.01)I;G01R27/02(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄晓波 | 申请（专利权）人 | 江西龙芯微科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 337016江西省萍乡市湘东区下埠产业园西扩区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于微电子半导体的电阻检测装置，包括检测固定载体板，检测固定载体板保护面板，电阻检测装置，电阻检测装置包括在横向调节机构和检测单元；还包括导向柱以及导向钢球；通过调节电阻检测装置能够对不同规格的电子半导体压紧固定，实现测试时的稳定和精度；通过定位板上的导向柱以及嵌设在滑动板内部的导向钢球，实现填充板在调节过程的稳定。 |
