晶圆表面粗糙度检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202111263869.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114001701A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN114001701A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | G01B21/30（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄晓波;宋向东 | 申请（专利权）人 | 江西龙芯微科技有限公司 |
| 代理机构 | 南昌金轩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 彭小娇 |
| 地址 | 337016江西省萍乡市湘东区下埠产业园西扩区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于晶圆检测技术领域，尤其是晶圆表面粗糙度检测装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑柱，支撑柱的顶部安装有顶板，顶板上安装有气缸一，所述支撑柱上滑动套设有水平板，水平板的底部转动安装有转轴，转轴的底部固定有圆盘，所述圆盘的底部滑动安装有安装板，安装板的底部固定有粗糙度仪，所述底座的顶部固定有两个支撑板；本发明实现对晶圆两端的固定，使得晶圆位置不会偏移，便于检测，实现晶圆的翻转，便于对晶圆不同面进行检测，实现粗糙度仪在平面的任一位置调节，便于对晶圆进行不同位置的检测，使得检测过程中粗糙度仪位置稳定不晃动，提升检测精度。 |
