一种高效导电粒子检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202022803337.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214334700U | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN214334700U | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | G01N21/88（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 武宏昌;邓何明;徐飞 | 申请（专利权）人 | 深圳精创视觉科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518109广东省深圳市龙华区龙华街道和平东路港之龙科技园科技孵化中心6楼E、I区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种高效导电粒子检测装置，包括机架、定位测高模组、视觉检测模组、运动载物平台以及电气控制模组，定位测高模组用于监测距运动载物平台上承载产品的位置和高度；视觉检测模组包括微分干涉显微镜系统和升降组件，微分干涉显微镜系统设置在升降组件上并可在其带动下进行升降运动，微分干涉显微镜系统采集产品表面特征；运动载物平台用于承载产品并带动产品移动调节位置；电气控制模组，用于控制检测装置的运行过程。该装置能排除人为参与对产品接触的不良影响而完全取代人力，减小劳动强度，节省成本，而且该装置可以一次性检测玻璃产品上所有的缺陷，且不会对产品造成损伤，检测效率高，产品检测的一致性强，轻松实现全程自动化。 |
