尾排结构和具有其的LPCVD设备

基本信息

申请号 CN202122924307.9 申请日 -
公开(公告)号 CN216556501U 公开(公告)日 2022-05-17
申请公布号 CN216556501U 申请公布日 2022-05-17
分类号 F17D1/02(2006.01)I;F17D1/065(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 张勇;李锐;罗伟斌;李美诗 申请(专利权)人 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 518118广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了尾排结构和具有其的LPCVD设备,尾排结构包括第一管路组件,第二管路,真空泵组件和第三管路。根据本实用新型的尾排结构,可以作为其他管路损坏后的备选通路;可以在不需要精准控制气压时使用,以减少控制调节阀的使用,增加控制调节阀的使用寿命;可以更加安全、有效地处理设备异常时的气体排放问题,将炉管中的废气等气体输送到尾气处理装置中。