用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202122753708.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216563024U | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN216563024U | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L21/22（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张勇;张数俊;罗伟斌 | 申请（专利权）人 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518118广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于扩散设备的SIC桨及具有其的镀膜设备，所述SIC桨包括桨叶和桨柄，桨叶的一端与桨柄连接；所述桨叶包括桨叶腹板和两块桨叶翼板，桨叶翼板的一侧或两侧高于桨叶腹板。传统SIC桨的桨叶在使用过程中易断裂，本实用新型SIC桨的桨叶设置了桨叶翼板，可以减少桨叶的弯曲，有效防止桨叶断裂。本实用新型应用于镀膜设备，一方面可以降低桨叶的弯曲度，防止SIC桨断裂，降低成本，另一方面本实用新型的SIC桨稳定性好，桨柄固定性好，不易晃动，减少载具脱落的风险，使均匀镀膜，提高产能。 |
