镀膜载具及镀膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202123042770.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216919401U | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN216919401U | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李国庆;张凡;满小花;王应斌;文鸥;肖荣峰 | 申请（专利权）人 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518118广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜载具及镀膜设备，镀膜载具包括口袋板、第一支撑梁、连接件及第二支撑梁，连接件与第一支撑梁、口袋板插接，光杆部与第一安装孔的内壁之间具有间隙，凸缘部与口袋板之间具有间隙，口袋板设置有多个插条，第二支撑梁设置有多个插孔，插条插入至插孔内，插条与插孔的内壁之间具有间隙；镀膜设备包括镀膜载具。本实用新型中，口袋板与第一支撑梁连接的两侧，连接件与口袋板之间存在间隙，口袋板与第二支撑梁连接的两侧，插条与第二支撑梁之间存在间隙，允许口袋板的边缘向外侧膨胀，口袋板的外周均可受热自由膨胀，降低了口袋板因膨胀受限而导致变形的风险，有利于提高硅片的镀膜质量。 |
