一种石英舟
基本信息
| 申请号 | CN202122795835.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216563042U | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN216563042U | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 余仲;杨宝立;林金雨 | 申请（专利权）人 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518118广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种石英舟，包括由端板、固定部、支撑部、加强部和手持部，其中支撑部和固定部成了两列容置空间，可提升石英舟对硅片的装载数量；由于加强部的加强作用，因此可提升石英舟的装载重量；由于各部件结构的设计，还可简化石英舟的制备过程。 |
