用于观察样品切面的扫描电镜样品台及扫描电镜
基本信息
| 申请号 | CN202221478692.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN217009116U | 公开（公告）日 | 2022-07-19 |
| 申请公布号 | CN217009116U | 申请公布日 | 2022-07-19 |
| 分类号 | H01J37/20（2006.01）I;H01J37/28（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵东艳;王于波;陈鹏;陈燕宁;钟明琛;单书珊 | 申请（专利权）人 | 北京智芯微电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 102200北京市昌平区双营西路79号院中科云谷园11号楼一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于观察样品切面的扫描电镜样品台及扫描电镜，包括：具有导电性的基台，所述基台为圆片状结构，具有用于放置样品的上表面；具有导电性的检测部件，设置在所述基台的上表面，所述检测部件具有至少一个与所述基台的上表面垂直的第一平面，所述样品的切面能够贴附于所述第一平面。通过本实用新型提供的扫描电镜样品台，能够方便对芯片样品进行固定，保证样品切面与样品台的有效接触，提高观测效果。 |
