一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置
基本信息
| 申请号 | CN202022593808.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213538086U | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN213538086U | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/04（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 彭徽;康杰;裴延玲;宫声凯;李树索;张恒 | 申请（专利权）人 | 北航（四川）西部国际创新港科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 王富强 |
| 地址 | 610213四川省成都市天府新区成都直管区正兴镇凉风顶村3组303号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于在大长径比金属管内沉积硬质涂层的装置，包括真空腔体、供气系统、离子发生装置、支撑架、电源、磁场发生装置、真空泵、偏压电源和加热装置。其中，真空腔体为封闭腔体；供气系统用于向真空腔体提供工作气体和工艺气体，工作气体为惰性气体；离子发生装置包括空心阴极电子枪和辅助阳极；支撑架固定于真空腔体内；空心阴极电子枪与电源的负极电连接，辅助阳极与电源的正极电连接；磁场发生装置用于产生沿待涂层金属管轴线方向的磁场；真空泵与真空腔体相连；偏压电源与真空腔体相连；加热装置安装于真空腔体内。相比于现有技术，本实用新型适用范围大、离子沉积速度快，形成的涂层密度高、均匀性好。 |
