电脑式HMDS涂胶机
基本信息
| 申请号 | CN201821421009.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208928470U | 公开（公告）日 | 2019-06-04 |
| 申请公布号 | CN208928470U | 申请公布日 | 2019-06-04 |
| 分类号 | B05C3/109（2006.01）I; B05C11/10（2006.01）I; B05D3/04（2006.01）I; B05D3/02（2006.01）I | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 安小敏; 陈善瑾 | 申请（专利权）人 | 合肥真萍电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥拓进知识产权代理有限公司 | 代理人 | 合肥真萍电子科技有限公司 |
| 地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区习友路东，慈光路南清华启迪科技城创客空间AB幢A-1007室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种电脑式HMDS涂胶机，箱体、箱门、腔体、控制器、真空系统、供药液系统、温度控制系统、常闭型继电器、光电开关、加热元件、测温元件、触摸屏、蜂鸣器和指示灯，真空系统包括有真空泵、充气泵和真空度检测元件，供药液系统包括有药液蒸汽罐，温度控制系统包括有温控仪。本实用新型具有安全防护功能，通过设置该烘箱，并设定烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数，可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高了光刻胶与硅片的黏附性。 |
