一种真空存储柜的真空系统

基本信息

申请号 CN202011239631.0 申请日 -
公开(公告)号 CN112455925A 公开(公告)日 2021-03-09
申请公布号 CN112455925A 申请公布日 2021-03-09
分类号 B65D81/20(2006.01)I;B65D85/86(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 安小敏;刘汉东;陈善瑾;丁道路 申请(专利权)人 合肥真萍电子科技有限公司
代理机构 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 代理人 方荣肖
地址 230091安徽省合肥市经济技术开发区习友路东,慈光路南清华启迪科技城创客空间AB幢A-1007室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种真空存储柜的真空系统,包括有箱体、控制器、若干个腔室、光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽真空管路,粗、精抽真空管路一方面与每个腔室上的第一、二高真空挡板阀之间分别对应连接有第一、二抽气管路,另一方面分别对应连接有粗、精抽泵;控制器分别与光电开关、真空计、第一、二高真空挡板阀和粗、精抽泵电连接。本发明满足了不同电子产品对所处腔室的真空环境的不同需求,避免了因无电子产品而抽真空所造成的资源浪费,满足了一些较为精密和对真空环境要求较高的电子产品的存储需求。