一种图形衬底的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201210069278.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103311384A | 公开（公告）日 | 2013-09-18 |
| 申请公布号 | CN103311384A | 申请公布日 | 2013-09-18 |
| 分类号 | H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钟伟荣;熊威;赵常宁 | 申请（专利权）人 | 扬州隆耀光电科技发展有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201616 上海市松江区文俊路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种图形衬底的制作方法，包括的步骤有：在衬底上利用旋转机涂布光刻胶，将平行四边形曝光单元拼接于衬底上，将光刻板上的图形采用步进投影的方式曝光衬底上的光刻胶，曝光完成显影后，衬底上形成图案化光刻胶，利用ICP干刻蚀系统，实施衬底图形化刻蚀，转移图案化光刻胶的图形至衬底上。图形衬底采用平行四边形的曝光单元拼接，使得所有图形都可在一个曝光单元完成，曝光单元之间的拼接位置没有图形存在，所以没有图形因拼接造成失真的问题。 |
