一种GaN基发光二极管及其制造方法

基本信息

申请号 CN200910194799.1 申请日 -
公开(公告)号 CN102005512A 公开(公告)日 2011-04-06
申请公布号 CN102005512A 申请公布日 2011-04-06
分类号 H01L33/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李刚;刘慰华;丁成;张义颖 申请(专利权)人 扬州隆耀光电科技发展有限公司
代理机构 上海市华诚律师事务所 代理人 上海蓝宝光电材料有限公司
地址 201616 上海市松江区文俊路2号
法律状态 -

摘要

摘要 一种GaN基发光二极管及其制造方法,其中,这种GaN基发光二极管的制造方法包括:在衬底上依次形成本征氮化镓层、n型氮化镓层、n型氮化镓铟层、发光层、p型氮化镓铝层和第一p型氮化镓层,该方法还包括:在第一p型氮化镓层上形成异质预处理层;和在异质预处理层上形成第二p型氮化镓层。