一种隐形切割LED芯片及其制作方法
基本信息
申请号 | CN201210069244.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN103311392A | 公开(公告)日 | 2013-09-18 |
申请公布号 | CN103311392A | 申请公布日 | 2013-09-18 |
分类号 | H01L33/10(2010.01)I;H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 钟伟荣;熊威;王召灿;罗官 | 申请(专利权)人 | 扬州隆耀光电科技发展有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 201616 上海市松江区文俊路2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种隐形切割LED芯片,包括有衬底,以及生长在衬底表面的发光外延层和反射层,发光外延层和反射层分别位于衬底两侧;衬底具有第一表面以及与该第一表面相反的第二表面,发光外延层形成于第一表面,所述反射层形成于第二表面;反射层为金属层或合金层,反射层上还附着有全反射膜;该隐形切割LED芯片的制作步骤有:在衬底的第一表面形成发光外延层,并在该发光外延层上形成有利于隐形切割穿透衬底的沟道;使发光外延层形成各自独立但衬底连体的发光芯片;在衬底的第二表面形成反射层;利用隐形切割的方式在衬底内形成改质层;对衬底施以外力,将其分割成各自独立且衬底分离的发光芯片。 |
