一种空间相移干涉仪

基本信息

申请号 CN201820499044.7 申请日 -
公开(公告)号 CN207991476U 公开(公告)日 2018-10-19
申请公布号 CN207991476U 申请公布日 2018-10-19
分类号 G01B11/16;G01B9/02 分类 测量;测试;
发明人 黄嘉兴;曾启林;宁文斌;游强;徐志江 申请(专利权)人 广州迅智机械科技有限公司
代理机构 广东广和律师事务所 代理人 广州迅智机械科技有限公司
地址 510000 广东省广州市高新技术产业开发区神舟路19号自编1栋402
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种空间相移干涉仪,包括激光发射机构、激光接收机构、干涉器和成像镜头,还包括第一同轴线和第二同轴线,所述激光发射机构包括激光器和扩束整型镜,所述激光接收机构、干涉器和成像镜头均分布于所述第一同轴线上,所述成像镜头和激光接收机构分别设置于干涉器的前侧和后侧,所述激光发射机构设置于所述第二同轴线并分设于所述成像镜头的两侧,当激光发射机构发射出激光束,照射到目标物体的表面后反射,并沿第一同轴线依次经过所述成像镜头和干涉器后形成两路光束,被激光接收机构接收处理。本实用新型的空间相移干涉仪结构简单、采集图像信息快速。