薄膜吸气剂及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010137169.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113337800A | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN113337800A | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;B01J20/28（2006.01）I;B01J20/02（2006.01）I;B01J20/30（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 梁尚娟;徐振宇 | 申请（专利权）人 | 杭州海康微影传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京博思佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨春香 |
| 地址 | 311501浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种薄膜吸气剂及其制备方法。所述薄膜吸气剂包括衬底及形成于所述衬底上的吸气层，所述吸气层为疏松多孔结构，所述吸气层中钛的质量含量大于或等于90％。所述薄膜吸气剂还包括形成于所述衬底与所述吸气层之间的阻挡层，所述阻挡层的孔隙率小于所述吸气层的孔隙率，所述阻挡层中钛的质量含量大于或等于90％；和/或，所述薄膜吸气剂还包括形成于所述吸气层背离所述衬底的一侧的保护层，所述保护层的孔隙率小于所述吸气层的孔隙率，所述保护层中钛的质量含量大于或等于90％。 |
