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一种TopCon电池的制备方法

基本信息

申请号 CN202210034770.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114050105A 公开（公告）日 2022-02-15
申请公布号 CN114050105A 申请公布日 2022-02-15
分类号 H01L21/268（2006.01）I;H01L21/225（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 余浩;方灵新;单伟;何胜;徐伟智;黄海燕;陆川 申请（专利权）人 正泰新能科技有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 张雪娇
地址 314400浙江省嘉兴市海宁市尖山新区吉盛路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种TopCon电池的制备方法。与现有技术相比，本发明在TopCon电池正面层积氧化镓，氧化镓可以钝化表面，同时利用氧化镓作为正面P+掺杂剂的来源，镓元素在硅中有较快的扩散系数，再搭配激光进行正面掺杂，可以实现局部的镓元素掺杂，从而实现金属接触区的重掺杂，降低接触电阻，同时实现受光区的轻掺杂，降低表面俄歇复合，提升开路电压，提升填充因子FF，提升电池效率。并且该方法不需要另外提供掺杂剂来源，只需要在正面氧化镓层积后，增加激光掺杂工序，简化了TopCon电池的制备工序，有利于降低成本。