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基于衍射光栅列阵的窄线宽外腔半导体激光线阵

基本信息

申请号 CN202011601590.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112600068A 公开（公告）日 2021-04-02
申请公布号 CN112600068A 申请公布日 2021-04-02
分类号 H01S5/026(2006.01)I;H01S5/00(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨明来 申请（专利权）人 浙江长芯光电科技有限公司
代理机构 杭州润涞知识产权代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 黎慧华
地址 310000浙江省杭州市江干区新塘路672号中豪国际商业中心3幢506-4室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了基于衍射光栅列阵的窄线宽外腔半导体激光线阵，包括半导体激光线阵，所述半导体激光线阵由增益波导、快轴准直镜和波导光栅组成，沿半导体激光线阵激光输出方向依次设有小透镜、半波片、大透镜、衍射光栅列阵，小透镜距离半导体激光线阵的距离为小透镜的焦距f1，小透镜和大透镜共焦点放置组成倒置望远系统，大透镜距离衍射光栅列阵为大透镜的焦距f2，半波片位于小透镜与大透镜焦点处，衍射光栅列阵由不同旋转角度的衍射光栅单元胶合而成，每个衍射光栅单元均为利特罗结构放置，本发明减小整体光谱线宽，同时简化光路结构，提高器件稳定性。