一种整片晶圆纳米压印光刻机
基本信息
| 申请号 | CN202121035046.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214704303U | 公开（公告）日 | 2021-11-12 |
| 申请公布号 | CN214704303U | 申请公布日 | 2021-11-12 |
| 分类号 | G03F7/00（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 孙立;胡金鑫;刘晖 | 申请（专利权）人 | 青岛影创信息科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海港慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 卞小婷 |
| 地址 | 266288山东省青岛市即墨区通济新经济区九江路17号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种整片晶圆纳米压印光刻机，包括底板，所述底板的顶部通过轴承转动连接有竖杆，所述竖杆的外壁上方固接有多个支杆，所述支杆的末端设有限位机构。该整片晶圆纳米压印光刻机，可对多个承片台内部晶圆实现轴向转动切换印压加工，进而大幅提升加工效率，且通过顶板与凹槽的转动连接，以及弹簧一的设置，使得顶板可同时向内转动，进而对不同尺寸的晶圆实现限位固定，提升加工稳定性，进而保证印压精度，加工后晶圆可在切换加工过程中自动顶出承片台，进而提升卸料便捷性，提升加工效率，竖杆可随着电机慢速转动，进而可实现电控间歇切换加工，自动化程度更高。 |
