一种凹陷式类单晶籽晶铸锭熔化结晶工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710019679.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106591937B | 公开（公告）日 | 2019-11-26 |
| 申请公布号 | CN106591937B | 申请公布日 | 2019-11-26 |
| 分类号 | C30B11/04（2006.01）; C30B29/06（2006.01） | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王强; 尤敏; 陈云; 邓洁; 朱海峰; 章国安 | 申请（专利权）人 | 南通大学技术转移中心有限公司 |
| 代理机构 | 南京瑞弘专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 南通大学 |
| 地址 | 226019 江苏省南通市啬园路9号南通大学6号楼205 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种凹陷式块状类单晶籽晶铸锭熔化结晶工艺，包括如下步骤：(1)单晶硅籽晶的制备及装料阶段；(2)单晶硅籽晶铸锭熔化阶段；(3)类单晶长晶阶段。本发明的特点在于当硅料熔液从顶部向底部流动经过阻挡层时，会沿着晶砖的凹陷角度向坩埚中心流动。这样就可以避免因为铸锭炉的加热器位于坩埚顶部和四壁，坩埚壁处的温度较高，导致坩埚壁处的硅溶液沿着坩埚壁向下流动，接触籽晶层造成边侧籽晶层熔穿的现象。同时，缓冲层向中心流动的硅熔液可以提高坩埚中心的温度，避免了在中心处的籽晶层未熔化的现象，采用了降温速率控制工艺，实现了铸锭工艺的优化。 |
