一种Ⅱ-类超晶格红外探测器吸收区结构
基本信息
申请号 | CN201810410863.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN108493273A | 公开(公告)日 | 2018-09-04 |
申请公布号 | CN108493273A | 申请公布日 | 2018-09-04 |
分类号 | H01L31/0304;H01L31/09 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 詹健龙;菇国海 | 申请(专利权)人 | 嘉兴风云科技有限责任公司 |
代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 程开生 |
地址 | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开发区昌盛南路36号嘉兴智慧产业创新园10号楼104室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种Ⅱ‑类超晶格红外探测器吸收区结构,吸收区由若干层超晶格层依次叠加构成,每层超晶格层从下往上依次包括有InAs层、第一类GaAs界面、第一GaSb层、第一InSb层、第二GaSb层、第二InSb层、第三GaSb层、第二类GaAs界面。本发明的Ⅱ‑类超晶格红外探测器吸收区结构,吸收波长可以分别针对短波红外(SWIR,1‑3微米)、中波红外(MWIR,3‑5微米)、长波红外(LWIR,8‑12微米)、甚长波红外(VLWIR,12‑30微米)波段进行高效的吸收。 |
