一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮
基本信息
| 申请号 | CN202120372801.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214175987U | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN214175987U | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱诚;李刚;李文亭 | 申请（专利权）人 | 江苏亚电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构，还包括设置在所述支撑机构上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构，所述限位机构上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构。本实用新型通过调整机构的双螺旋丝杠转动，使前后两侧的滑块在滑轨内相对移动，调整第一限位板、第二限位板的间距，使第一限位板、第二限位板的下限位座对晶圆下侧进行初步支撑，然后通过固定机构的夹板在弹簧的作用力下对两侧进行夹紧固定，再转动第三限位板上连接的螺杆，推动第三限位板向下移动，对晶圆上部进行支撑限位，便于适应不同尺寸晶圆的支撑固定，提高了对晶圆固定的便利性，避免多规格花篮的储备。 |
