一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置

基本信息

申请号	CN202110173405.5	申请日	-
公开（公告）号	CN112974083B	公开（公告）日	2021-08-27
申请公布号	CN112974083B	申请公布日	2021-08-27
分类号	B05B16/20（2018.01）I;B05B16/40（2018.01）I;B05B13/02（2006.01）I	分类	一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人	钱诚;李刚;童建	申请（专利权）人	江苏亚电科技有限公司
代理机构	北京商专润文专利代理事务所（普通合伙）	代理人	陈平
地址	225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种用于晶圆加工的表面清洗涂胶装置，包括密封设备，所述密封设备主要由支撑腿、箱体、密封盖组成，所述箱体底部通过螺栓连接有所述支撑腿，所述箱体顶部盖合有所述密封盖，还包括旋转支撑机构、密封板、分割机构。本发明可以通过气缸带动连接架下降，连接架带动密封罩下降，使得密封罩扣合在密封板上，实现了对晶圆清洗、干燥、喷涂分别位于不同的且较小的密闭空间内，可以在干燥晶圆时，干燥室内部空间的湿度较小，有益于提高干燥效率，还可以通过驱动电机在第二链条的作用下带动传动管转动，通过传动管在第一链条的作用下带动四个吸盘放料台转动，进而实现了对不同工位的晶圆清洗、干燥、喷涂干燥的工作，进一步提高了生产效率。