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一种用于晶圆清洗的甩干设备

基本信息

申请号 CN202120365473.7 申请日 -
公开（公告）号 CN214175979U 公开（公告）日 2021-09-10
申请公布号 CN214175979U 申请公布日 2021-09-10
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 钱诚;李刚;周兴江 申请（专利权）人 江苏亚电科技有限公司
代理机构 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） 代理人 陈平
地址 225500江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于晶圆生产领域，具体为一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体、排水槽、甩干机门、门把手、门体控制机构、甩干驱动机构，还包括晶圆片固定机构，所述晶圆片固定机构包括固定框架、泄水孔、滑槽、活动底板、滚轮、底板推杆、前挡板，所述固定框架下方内部两侧设置有所述滑槽，所述固定框架侧壁和顶部设置有所述泄水孔，所述活动底板设置在所述滑槽之间，所述滚轮设置在所述活动底板两侧。通过本实用新型采用的一种底板可以伸出的晶圆片固定机构，需要放置晶圆时，底板伸出，此时将晶圆托盘从上而下放到底板上，不用再伸长手臂将晶圆托盘向甩干装置内部进行放置，减少晶圆的磕碰风险，提高生产良品率。