一种用于硅料的清洗装置

基本信息

申请号 CN202023292149.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214262964U 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN214262964U 申请公布日 2021-09-24
分类号 B08B3/02(2006.01)I;B08B3/06(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 钱诚;夏振;杨洋 申请(专利权)人 江苏亚电科技有限公司
代理机构 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 代理人 陈平
地址 225300江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于硅料的清洗装置,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本实用新型通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。