一种用于硅料的清洗装置
基本信息
申请号 | CN202023292149.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214262964U | 公开(公告)日 | 2021-09-24 |
申请公布号 | CN214262964U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
分类号 | B08B3/02(2006.01)I;B08B3/06(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 钱诚;夏振;杨洋 | 申请(专利权)人 | 江苏亚电科技有限公司 |
代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 陈平 |
地址 | 225300江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种用于硅料的清洗装置,包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座,所述驱动机构位于所述机座上侧,所述升降机构位于所述机座顶部,还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本实用新型通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动,同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动,从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度,继而来提高清洗效率,利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内,利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上,从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。 |
