一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构
基本信息
| 申请号 | CN202023292130.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214235484U | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN214235484U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 钱诚;李刚;吴清 | 申请（专利权）人 | 江苏亚电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 225300江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种晶圆清洗设备清洗工位挡板机构，固定框对各部件起到了一定的密闭作用，滑动块驱动挡板从背板上开设有开口伸出或者缩回，从而可以伸入到运输仓室，从而将第一清洗工位和第二清洗工位的顶部起到一定密闭阻挡作用，阻挡各工位清洗时，清洗液水雾或者气体流入到临近工位上。 |
