一种用于晶圆的清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202011613524.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112838030A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112838030A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | H01L21/67;B08B3/02;B08B1/02;B08B1/00;B08B13/00 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 钱诚;李刚;周兴江 | 申请（专利权）人 | 江苏亚电科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京商专润文专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈平 |
| 地址 | 225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆的清洗装置，包括保护机构、固定机构、传送机构、清洗机构，所述保护机构上设置有所述传送机构，所述传送机构上端连接有所述固定机构，所述固定机构上侧设置有所述清洗机构，所述清洗机构之间通过联动机构连接，所述清洗机构、所述传送机构动力端均连接动力机构。本发明所述齿条起配合配合齿轮作用，从而使得晶圆在清洁时进行旋转，利用多级联动效果，提高了动能利用率，同时能够进行配合运动清洗提高清洗效果，利用移动的固定座配合按压弹性阀进行喷水清洗，同时避免清洁剂的空喷，从而提高清洁剂的使用效率。 |
