LED衬底加工用研磨液及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201110207947.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102337084B | 公开（公告）日 | 2014-04-09 |
| 申请公布号 | CN102337084B | 申请公布日 | 2014-04-09 |
| 分类号 | H01L33/00(2010.01)I;C09G1/02(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王志强;方伟 | 申请（专利权）人 | 郑州三磨超硬材料有限公司 |
| 代理机构 | 郑州中原专利事务所有限公司 | 代理人 | 霍彦伟;郑园 |
| 地址 | 450001 河南省郑州市高新区梧桐街121号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种LED衬底加工用研磨液，包括溶剂、添加剂和研磨剂，研磨剂由金刚石微粉及非金刚石纳米级抛光材料组成；金刚石微粉，纯度为99%以上，粒度为：W0.5~W20；非金刚石纳米级抛光材料为氧化铝、氧化硅、氧化铈、氧化铬中的任意一种或任意几种的混合物，粒度为10~100nm，纯度为99%以上。本发明在采用微米级金刚石作为磨料的同时，复合加入非金刚石纳米级抛光材料，既能保证研磨速率，又能很好的保证工件表面的加工质量。 |
