基于聚类和多任务学习的化学机械研磨时间设定方法
基本信息
| 申请号 | CN201410805040.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104598720A | 公开（公告）日 | 2015-05-06 |
| 申请公布号 | CN104598720A | 申请公布日 | 2015-05-06 |
| 分类号 | G06F19/00(2011.01)I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 刘民;段运强;董明宇;郝井华 | 申请（专利权）人 | 正大业恒生物科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 100084 北京市海淀区清华园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 基于聚类和多任务学习的化学机械研磨时间设定方法，属于自动控制、信息技术和先进制造领域，其特征在于，为实现多品种混合下微电子制造过程化学机械研磨时间优化设定，本方法将工艺指标及产品状态作为输入，影响工艺指标的关键因素-研磨时间作为输出建立逆向模型用于对研磨时间进行优化设定。在构建上述逆向模型过程中，针对生产品种种类多，单个品种数据少的问题，将相似品种按产品特征进行聚类，在每个类别中采用基于共有参数提取的多任务学习方法进行建模；所计算出的模型参数分为本类品种共有部分和单品种私有部分。 |
