一种用于清洁石英晶舟的方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN202210239661.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114613665A | 公开（公告）日 | 2022-06-10 |
| 申请公布号 | CN114613665A | 申请公布日 | 2022-06-10 |
| 分类号 | H01L21/02（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李亮亮 | 申请（专利权）人 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安维英格知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 710100陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例公开了一种用于清洁石英晶舟的方法及装置，所述方法包括：在高温环境下利用蚀刻气体对待清洁的所述石英晶舟进行第一蚀刻，以获得位于所述石英晶舟的表面处并且能够产生吸杂作用的损伤层和应力层；对经历所述第一蚀刻的所述石英晶舟进行热处理，以促进所述石英晶舟中的杂质在所述吸杂作用的影响下朝向所述石英晶舟的表面扩散；在高温环境下利用蚀刻气体对经历所述热处理的石英晶舟进行第二蚀刻，以将扩散至所述石英晶舟的表层的杂质随所述石英晶舟的表层一起从所述石英晶舟去除。 |
