一种导流筒和拉晶炉
基本信息
申请号 | CN202123301915.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216864376U | 公开(公告)日 | 2022-07-01 |
申请公布号 | CN216864376U | 申请公布日 | 2022-07-01 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 郭超超;李腾飞;张鹏举 | 申请(专利权)人 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
代理机构 | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 710065陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型的第一方面公开了导流筒,所述导流筒包括:主筒体,所述主筒体包括周向壁和从所述周向壁的一个轴向端部沿径向方向向内延伸的底壁,周向壁围成第一通孔,底壁围成第二通孔;副筒体,所述副筒体可拆卸地连接至所述主筒体的底壁,所述副筒体具有第三通孔,当所述副筒体连接至所述主筒体时,所述第三通孔与所述第一通孔连通以形成所述导流筒的导流孔。本实用新型的第二方面公开了拉晶炉,所述拉晶炉包括根据第一方面的导流筒。导流筒的可拆卸式设计有效地降低了导流筒的更换成本,由于副筒体只构成了导流筒的一部分底壁,而这一部分往往是最容易受到污染的部分,仅对这一部分进行更换可以在解决污染问题的同时使经济效益最大程度地提高。 |
