一种用于曲面材料直写光刻设备的背光照明装置
基本信息
| 申请号 | CN202122412139.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215833760U | 公开（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申请公布号 | CN215833760U | 申请公布日 | 2022-02-15 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人 | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230051安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及背光照明装置，具体涉及一种用于曲面材料直写光刻设备的背光照明装置，包括真空吸盘和载盘，载盘底部固定有用于导入侧面光线，并在表面形成均匀光分布的匀光板，真空吸盘上固定有与匀光板侧面正对的条形光源，载盘上固定有橡胶座，橡胶座上放置有待刻曲面材料，匀光板包括靠近条形光源的近光面，与近光面相对的远光面，以及反射面、出射面，近光面、远光面和反射面上设有光线补偿机构；本实用新型提供的技术方案能够有效克服现有技术所存在的不便与直写光刻机进行固定连接、背光照明时会出现光分布不均匀的缺陷。 |
