一种用于光刻机的倍率内调镜头
基本信息
| 申请号 | CN202111575713.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114217425A | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN114217425A | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | G02B15/14（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李文静;章广飞;王运钢;薛业保;张波 | 申请（专利权）人 | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵娟 |
| 地址 | 230051安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于光刻机的倍率内调镜头，由四组透镜组组合而成，从左到右依次为第一正透镜组G1、第二正透镜组G2、第三负透镜组G3、第四正透镜组G4，第二正透镜组G2为调节镜组；四组透镜组的参数满足关系式1L1，其中L1为物面到第一正透镜组主面的距离，F1为透镜组G1的焦距，F12为透镜组G1和透镜组G2的组合焦距；四组透镜组的参数满足关系式F34>L5，F4 |
