一种用于激光直写光刻设备的激光功率计
基本信息
| 申请号 | CN202220324111.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216668997U | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN216668997U | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | G01J1/42（2006.01）I;G01J1/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人 | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 230051安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于激光直写光刻设备的激光功率计，包括一侧开设小孔的半封闭壳体，以及设置于所述半封闭壳体内部的凹透镜组、光学衰减片和能量探头，激光从小孔射入依次经过凹透镜组和光学衰减片，到达能量探头。本实用新型结构简单、成本低廉，便于集成到原有激光直写光刻设备上，可以利用设备空闲的间隙时间实现功率测量，不影响设备的正常工作，实现在线测量；对于有闭环控制系统的设备，还可以将其连接至闭环控制系统，完成功率测量的同时，实现更多功能扩展。 |
