一种用于光刻机的对准镜头
基本信息
| 申请号 | CN202210148119.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114488487A | 公开（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申请公布号 | CN114488487A | 申请公布日 | 2022-05-13 |
| 分类号 | G02B13/00（2006.01）I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李文静;章广飞;王运钢;薛业保 | 申请（专利权）人 | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 230051安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于光刻机的对准镜头，由三组透镜组和分光镜/分光棱镜组合而成，三组透镜组分别为第一透镜组G1、第二透镜组G2、第三透镜组G3；第一透镜组G1和第二透镜组G2构成对准标识搜寻镜头，第三透镜组G3和第二透镜组G2构成高倍率镜头，分光镜/分光棱镜位于两组镜头光路的交汇处；三组透镜组的参数满足关系式F1/F2＝B1，F3/F2＝B2，其中F1为第一透镜组的焦距，F2为第二透镜组的焦距，F3为第三透镜组的焦距，B1为对准标识搜寻镜头的倍率，B1为高倍率镜头的倍率。本发明结构简单，两组镜头共用第一透镜组，结构得到简化，且两组镜头视场完全同轴；保证高分辨率的同时，能够快速搜寻到对准标识。 |
