一种光刻设备的环境监测系统
基本信息
| 申请号 | CN202110604019.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113252109A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113252109A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G01D21/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 章广飞;王运钢;薛业保;李文静 | 申请（专利权）人 | 安徽国芯智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230051 安徽省合肥市包河经济开发区重庆路与兰州路交叉口中关村协同创新智汇园D3栋1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种光刻设备的环境监测系统，包括主控模块、以及连接主控模块的环境采集模块、警报模块、显示模块和提供电能的供电模块；主控模块，用于接收数据并对数据进行处理以及发送指令；环境采集模块，用于对光刻设备所处环境中灰尘、温度、湿度和光强的数据采集并发送至主控模块；警报模块通过执行主控模块发出的指令从而发出警报；显示模块用于对主控模块接收的数据以及处理的数据进行显示；本发明通过对光刻设备所处环境的数据采集，便于通过数据的综合判断对产品良率进行预测。 |
