具串联式冷却室的多流道气体喷射器
基本信息
| 申请号 | CN202022411353.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215560652U | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN215560652U | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C14/22（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴铭钦;刘峰 | 申请（专利权）人 | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 代理机构 | 北京市万慧达律师事务所 | 代理人 | 刘艳丽 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请为一种具串联式冷却室的多流道气体喷射器，包括喷射壳体内部环设有多层冷却室，每一冷却室的侧壁顶部设有至少一溢流开口，以连通相邻的冷却室，每一冷却室内还分别设有多条排气管，且排气管的开口外露于喷射壳体外。本申请可令每一排气管浸泡于冷却液中，达到整体排气管控温的效果，且排气管突出于串联式冷却室的多流道气体喷射器底部，搭配晶座（susceptor）的内凹结构，能有效扫除晶圆边缘的粉尘及沉积物，提升产品制造良率。 |
