化学气相沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN202023142188.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215887227U | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN215887227U | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | C23C16/54（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴铭钦;刘峰 | 申请（专利权）人 | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李怀周 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种化学气相沉积装置，包括一基板座、一主加热系统及一辅助加热系统。该主加热系统是用以将该基板座以及在该基板座上的基板的温度加热至一预设值。该辅助加热系统是用以将该基板的各个部位的温度从该预设值加热至各自的温度目标值。该辅助加热系统可以局部加热基板的各个部位，以使基板的各个部位的温度相同或不同。 |
