磁吸式探针卡装置
基本信息
| 申请号 | CN202120988401.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215678497U | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN215678497U | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | G01R1/073（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 吴铭钦;刘峰;黄宏义 | 申请（专利权）人 | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 李林 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一基板上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以吸引基板接近晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本实用新型可利用磁力吸附探针卡接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。 |
