一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件
基本信息
| 申请号 | CN202210271334.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114457417A | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114457417A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C30B25/12（2006.01）I;C23C16/32（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 邹明蓓;朱佰喜;薛抗美;雷宏涛;董志江 | 申请（专利权）人 | 广州志橙半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京中和立达知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510700广东省广州市黄埔区（中新广州知识城）亿创街1号406房之337 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件，包括承载盘和盖板，所述承载盘上设有第一定位结构，所述盖板底部设有第二定位结构，所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台，所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽，所述第一凹槽与第二凸台相互配合，所述第一凸台与第二凹槽相互配合。在承载盘与盖板间使用外圆裙边作中心的定位，使用凹凸槽作承载盘与盖板间的旋转角度方向的定位，代替现有的通过两盘间的重力和摩擦力来限位的方法,克服了在旋转时因惯性和气流导致承载盘和盖板间发生相对移位，使产品的生长条件发生改变的缺点，从而有效提高产品的生长质量和良率。 |
