一种感应加热外延设备
基本信息
| 申请号 | CN202210271324.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114457424A | 公开（公告）日 | 2022-05-10 |
| 申请公布号 | CN114457424A | 申请公布日 | 2022-05-10 |
| 分类号 | C30B29/36（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B25/02（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 蒋彪;朱佰喜;薛抗美;蒋旭霞;杨伟锋 | 申请（专利权）人 | 广州志橙半导体有限公司 |
| 代理机构 | 北京中和立达知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510700广东省广州市黄埔区（中新广州知识城）亿创街1号406房之337 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种感应加热外延设备，包括：主腔体，主腔体连接有工艺气体进气管组；上感应加热装置、下感应加热装置，上感应加热装置包括上加热板，下感应加热装置包括下加热板，上加热板、下加热板分别覆盖在主腔体上下两侧，上加热板、下加热板外侧均设置有电磁感应加热线圈；保温及冷却装置，包括：两个保温冷却板，保温冷却板连接有冷却气体进气管组，两个保温冷却板分别设置在上加热板、下加热板外侧。本申请通过直接电磁感应加热线圈平行布置，通过电磁感应加热线圈直接加热加热装置（上加热板和下加热板），大大提高了加热效率；同时在保温层增加有较大的进气口，在冷却过程中可以加大冷却气体的流量及流速，大大减少冷却所需时间。 |
