一种微米轴向运动调节装置
基本信息
| 申请号 | CN202023337778.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214150456U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214150456U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张自然;黎艺文;蒋煜;麦明秀;杨智;尹尚军 | 申请（专利权）人 | 广东省傲来科技有限公司 |
| 代理机构 | 佛山览众深联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王诗捷 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华区民治街道民治社区梅花山庄欣梅园C23栋101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种微米轴向运动调节装置，运动模组的底端固定连接有步进电机，运动模组的内侧装有丝杆固定座、丝杆、丝杆支承座、驱动螺母，丝杆两侧装有平行滑轨，所述步进电机与丝杆通过膜片联轴器刚性连接，避免出现回冲间隙，影响精度，为控制运动模组精度，其有效行程控制在50mm以内，且螺杆使用C3级精度以下研磨丝杆，驱动螺母与活动板刚性连接，在步进电机驱动驱动螺母转换成直线运动时，带动活动板做精密直线运动，因此光学检测装置可以进行微调，提高了光学检测的精度。 |
